半導体関連機器
半導体用圧力調整器
半導体、液晶、太陽電池等各種半導体用材料ガスの減圧に対応。高圧から微圧の減圧、また高純度、腐食性ガスまで幅広いラインアップ。
フィルター
半導体用材料ガスに最適。高精密、小型軽量。高圧用、低圧用を準備。
圧力スイッチ
半導体用材料ガスラインの圧力警報に最適。高精密、小型軽量。高圧用、低圧用を準備。軽量コンパクトで取り扱いが簡単。
圧力計
クリーンな環境用途に最適。
バキュームジェネレーター
窒素や空気を連続的に供給することにより真空を得るための機器。
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