HOME > 製品案内 > 半導体関連機器 > バキュームジェネレーター

半導体関連機器

バキュームジェネレーター

バキュームジェネレーター

窒素や空気を連続的に供給することにより真空を得るための機器。

 didicata_banner3.jpg

 

ダウンロード
Get ADOBE READER

PDF ファイルをご覧いただくためには、Adobe® Reader® が必要です。アドビ社のサイトより無料でダウンロード可能です。

 

 

用途

窒素や空気(以下“作動ガス”と記します。)を連続的に供給することにより吸引力(真空)を得るための機器です。
配管内などを真空引きして、内部に残留する使用ガスや大気を吸引パージする際の真空の発生限として使用します。

製品の構成

真空発生機構を内蔵した本体、本体に溶接した作動ガス供給口、放出口、吸引口の各接続部で構成しています。

仕様
作動ガス供給圧力 0.5MPa
作動ガス所用流量 約30L/min(nor)
到達真空度 -76KPa(18cmHg)以下
品名 TE-140シリーズ TE-140A
接続部形状 供給口 1/4”VCR又はJR 1/4”VCR
放出口 3/8”VCR又はUJR 3/8”VCR
吸引口 1/4”VCR又はJR 1/4”VCR
材質 SUS316
外部リーク量
(Heリーク量)
1.3×10-10Pa・m3/sec以下
使用方法

1)各接続部を接続します。この際、吸引するガスが危険な場合には放出口から放出するガスを安全に処理できる設備(除外装置など)に導入する必要があります。
2)作動ガス供給口から所定の作動ガスを供給します。

以上により、吸引口から吸引が開始され、接続した配管、機器等が真空状態になります。

ページの先頭へ