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半導体関連機器

半導体用圧力調整器

半導体、液晶、太陽電池等各種半導体用材料ガスの減圧に対応。高圧から微圧の減圧、また高純度、腐食性ガスまで幅広いラインアップ。

 

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【概要】

S-TORR

高純度ガス配管系用として、ガス純度維持性能と安全性を極限まで追及したモデルです。
強腐食性ガス用、負圧制御用、タイドダイヤフラム式
などの特殊用途用機種をご用意しております。

TORR

半導体・液晶ガス用のスタンダードモデルとして、高圧から微圧まで、
小流量から大流量まで、豊富な機種をご用意しております。
腐食性ガスには接ガス金属主要部品に高耐食性合金を使用した
機種をご用意しております。

ライン用
BA TORR‐３０シリーズ
ライン用標準流量用機種		 入口側最高使用圧力 5.0MPa
出口側最高使用圧力 -0.1～1.5MPa計付　1.0MPa
-0.1～1.0MPa計付　0.7MPa
-0.1～0.6MPa計付　0.4MPa
-0.1～0.3MPa計付　0.2MPa
常用流量 （窒素ガス換算における流量） 300～450L/min（nor）
TORR‐５０シリーズ
ライン用中流量用機種		 入口側最高使用圧力 3.5MPa
出口側最高使用圧力 -0.1～1.5MPa計付　1.0MPa
-0.1～1.0MPa計付　0.6MPa
-0.1～0.6MPa計付　0.4MPa
-0.1～0.3MPa計付　0.2MPa
常用流量 （窒素ガス換算における流量） 400～800L/min（nor）
TORR‐８０シリーズ
ライン用中流量用機種		 入口側最高使用圧力 2.0MPa
出口側最高使用圧力 -0.1～1.0MPa計付　0.6MPa
-0.1～0.6MPa計付　0.4MPa
-0.1～0.3MPa計付　0.2MPa
常用流量 （窒素ガス換算における流量） 600～1200L/min（nor）
TORR‐１５０シリーズ
ライン用中流量用機種		 入口側最高使用圧力 2.0MPa
出口側最高使用圧力 -0.1～1.0MPa計付　0.6MPa
-0.1～0.6MPa計付　0.4MPa
-0.1～0.3MPa計付　0.2MPa
常用流量 （窒素ガス換算における流量） 1000～2400L/min（nor）
TORR‐３５０シリーズ
ライン用大流量用機種		 入口側最高使用圧力 1.5MPa
出口側最高使用圧力 -0.1～1.0MPa計付　0.6MPa
-0.1～0.6MPa計付　0.4MPa
-0.1～0.3MPa計付　0.2MPa
常用流量 （窒素ガス換算における流量） 120～180m3/ｈ（nor）
TORR‐８００シリーズ
ライン用大流量用機種		 入口側最高使用圧力 1.0MPa
出口側最高使用圧力 0.6MPa
常用流量 （窒素ガス換算における流量） 280～650m3/ｈ（nor）
ＥＰ S-TORRV ０２シリーズ
ライン用小流量用調整器
(集積化ガスシステム対応）		 入口側最高使用圧力 1.0MPa
出口側最高使用圧力 0.7MPa仕様
0.4MPa仕様
常用流量 （窒素ガス換算における流量） 40L/min（nor）
S-TORRV ３０シリーズ
ライン用標準流量用機種		 入口側最高使用圧力 1.5MPa
出口側最高使用圧力 －0.1～1.0MPa計付　0.6MPa
－0.1～0.6MPa計付　0.4MPa
－0.1～0.3MPa計付　0.2MPa
常用流量 （窒素ガス換算における流量） 50～90L/min（nor）
S-TORRV ５０シリーズ
ライン用中流量用機種		 入口側最高使用圧力 1.5MPa
出口側最高使用圧力 －0.1～1.0MPa計付　0.6MPa
－0.1～0.6MPa計付　0.4MPa
－0.1～0.3MPa計付　0.2MPa
常用流量 （窒素ガス換算における流量） 300～400L/min（nor）
S-TORRV １５０シリーズ
ライン用大流量用機種		 入口側最高使用圧力 2.0MPa
出口側最高使用圧力 －0.1～1.0MPa計付　0.6MPa
－0.1～0.6MPa計付　0.4MPa
－0.1～0.3MPa計付　0.2MPa
常用流量 （窒素ガス換算における流量） 600～1200L/min（nor）
一次高圧用
BA TORR-1300シリーズ
一次高圧用標準流量用機種		 入口側最高使用圧力 15MPa
出口側最高使用圧力 －0.1～1.5MPa計付　1.0MPa
－0.1～1.0MPa計付　0.6MPa
－0.1～0.6MPa計付　0.4MPa
－0.1～0.3MPa計付　0.2MPa
常用流量 （窒素ガス換算における流量） 80～250L/min（nor）
TORR-2300シリーズ
一次高圧用中流量用機種		 入口側最高使用圧力 0～25MPa計付　15．0MPa
0～35MPa計付　20．0MPa
出口側最高使用圧力 －0.1～1.5MPa計付　1.0MPa
－0.1～1.0MPa計付　0.6MPa
－0.1～0.6MPa計付　0.4MPa
－0.1～0.3MPa計付　0.2MPa
常用流量 （窒素ガス換算における流量） 350～1400L/min（nor）
TORR-２５００シリーズ
一次高圧用大流量用機種		 入口側最高使用圧力 15MPa
出口側最高使用圧力 －0.1～1.5MPa計付　1.0MPa
－0.1～1.0MPa計付　0.6MPa
－0.1～0.6MPa計付　0.4MPa
－0.1～0.3MPa計付　0.2MPa
常用流量 （窒素ガス換算における流量） 90m3/ｈ（nor）
TORR-３３００シリーズ
一次高圧用大流量用機種		 入口側最高使用圧力 20.0MPa
出口側最高使用圧力 －0.1～1.5MPa計付　1.0MPa
常用流量 （窒素ガス換算における流量） 120m3/ｈ（nor）
EP S-TORRV １３００シリーズ
一次高圧用標準流量用機種		 入口側最高使用圧力 15.0MPa
出口側最高使用圧力 －0.1～1.5MPa計付　1.0MPa
－0.1～1.0MPa計付　0.6MPa
－0.1～0.6MPa計付　0.4MPa
－0.1～0.3MPa計付　0.2MPa
常用流量 （窒素ガス換算における流量） 40～80L/min（nor）
S-TORRV ２３００シリーズ
一次高圧用中流量用機種		 入口側最高使用圧力 15MPa
出口側最高使用圧力 －0.1～1.5MPa計付　1.0MPa
－0.1～1.0MPa計付　0.6MPa
－0.1～0.6MPa計付　0.4MPa
－0.1～0.3MPa計付　0.2MPa
常用流量 （窒素ガス換算における流量） 100～400L/min（nor）
2次側高圧用
BA TORR-Hシリーズ
二次側高圧用機種		 入口側最高使用圧力 0～25MPa計付　15.0MPa
0～35MPa計付　20.0MPa
出口側最高使用圧力 0～20MPa計付　12.0MPa
0～10MPa計付　6.0MPa
0～5MPa計付　3.0MPa
常用流量 （窒素ガス換算における流量） 330～800L/min（nor）
EP S-TORRV H50シリーズ
二次側高圧用機種		 入口側最高使用圧力 15.0MPa
出口側最高使用圧力 3.0MPa
常用流量 （窒素ガス換算における流量） 20m3/ｈ（nor）
腐食性ガス用
BA TORR-２８００SHシリーズ
腐食性ガス大流量用機種		 入口側最高使用圧力 15.0MPa
出口側最高使用圧力 －0.1～1.5MPa計付　1.0MPa
－0.1～1.0MPa計付　0.6MPa
－0.1～0.6MPa計付　0.4MPa
－0.1～0.3MPa計付　0.2MPa
常用流量 （窒素ガス換算における流量） 220～1400L/min（nor）
EP S-TORR V２３００SH/AHシリーズ
強腐食性ガス用機種		 入口側最高使用圧力 0～25MPa計付　15MPa
－0～10MPa計付　6MPa
－0.1～1.5MPa計付　1.0MPa
出口側最高使用圧力 －0.1～1.5MPa計付　1.0MPa
－0.1～1.0MPa計付　0.6MPa
－0.1～0.6MPa計付　0.4MPa
－0.1～0.3MPa計付　0.2MPa
常用流量 （窒素ガス換算における流量）

50～120L/min（nor）
＊CL2は10L/min（nor）、HCLは50L/min（nor）迄。
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