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半導体関連機器

半導体用圧力調整器

半導体用圧力調整器

半導体、液晶、太陽電池等各種半導体用材料ガスの減圧に対応。高圧から微圧の減圧、また高純度、腐食性ガスまで幅広いラインアップ。

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生産終了品リスト

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【概要】

S-TORR

高純度ガス配管系用として、ガス純度維持性能と安全性を極限まで追及したモデルです。
強腐食性ガス用、負圧制御用、タイドダイヤフラム式
などの特殊用途用機種をご用意しております。

TORR

半導体・液晶ガス用のスタンダードモデルとして、高圧から微圧まで、
小流量から大流量まで、豊富な機種をご用意しております。
腐食性ガスには接ガス金属主要部品に高耐食性合金を使用した
機種をご用意しております。

ライン用
BA TORR‐30シリーズ
ライン用標準流量用機種
入口側最高使用圧力 5.0MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.5MPa計付 1.0MPa
-0.1~1.0MPa計付 0.7MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 (窒素ガス換算における流量) 300~450L/min(nor)
図面、CADデータ、取扱説明書 リンク
TORR‐50シリーズ
ライン用中流量用機種
入口側最高使用圧力 3.5MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.5MPa計付 1.0MPa
-0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 (窒素ガス換算における流量) 400~800L/min(nor)
図面、CADデータ、取扱説明書 リンク
TORR‐80シリーズ
ライン用中流量用機種
入口側最高使用圧力 2.0MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 (窒素ガス換算における流量) 600~1200L/min(nor)
図面、CADデータ、取扱説明書 リンク
TORR‐150シリーズ
ライン用中流量用機種
入口側最高使用圧力 2.0MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 (窒素ガス換算における流量) 1000~2400L/min(nor)
図面、CADデータ、取扱説明書 リンク
TORR‐350シリーズ
ライン用大流量用機種
入口側最高使用圧力 1.5MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 (窒素ガス換算における流量) 120~180m3/h(nor)
図面、CADデータ、取扱説明書 リンク
TORR‐800シリーズ
ライン用大流量用機種
入口側最高使用圧力 1.0MPa
出口側最高使用圧力 0.6MPa
常用流量 (窒素ガス換算における流量) 280~650m3/h(nor)
図面、CADデータ、取扱説明書 リンク
EP S-TORRV 02シリーズ
ライン用小流量用調整器
(集積化ガスシステム対応)
入口側最高使用圧力 1.0MPa
出口側最高使用圧力 0.7MPa仕様
0.4MPa仕様
常用流量 (窒素ガス換算における流量) 40L/min(nor)
図面、CADデータ、取扱説明書 リンク
S-TORRV 30シリーズ
ライン用標準流量用機種
入口側最高使用圧力 1.5MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 (窒素ガス換算における流量) 50~90L/min(nor)
図面、CADデータ、取扱説明書 リンク
S-TORRV 50シリーズ
ライン用中流量用機種
入口側最高使用圧力 1.5MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 (窒素ガス換算における流量) 300~400L/min(nor)
図面、CADデータ、取扱説明書 リンク
S-TORRV 150シリーズ
ライン用大流量用機種
入口側最高使用圧力 2.0MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 (窒素ガス換算における流量) 600~1200L/min(nor)
図面、CADデータ、取扱説明書 リンク
一次高圧用
BA TORR-1300シリーズ
一次高圧用標準流量用機種
入口側最高使用圧力 15MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.5MPa計付 1.0MPa
-0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 (窒素ガス換算における流量) 80~250L/min(nor)
図面、CADデータ、取扱説明書 リンク
TORR-2300シリーズ
一次高圧用中流量用機種
入口側最高使用圧力 0~25MPa計付 15.0MPa
0~35MPa計付 20.0MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.5MPa計付 1.0MPa
-0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 (窒素ガス換算における流量) 350~1400L/min(nor)
図面、CADデータ、取扱説明書 リンク
TORR-2500シリーズ
一次高圧用大流量用機種
入口側最高使用圧力 15MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.5MPa計付 1.0MPa
-0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 (窒素ガス換算における流量) 90m3/h(nor)
図面、CADデータ、取扱説明書 リンク
TORR-3300シリーズ
一次高圧用大流量用機種
入口側最高使用圧力 20.0MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.5MPa計付 1.0MPa
常用流量 (窒素ガス換算における流量) 120m3/h(nor)
図面、CADデータ、取扱説明書 リンク
EP S-TORRV 1300シリーズ
一次高圧用標準流量用機種
入口側最高使用圧力 15.0MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.5MPa計付 1.0MPa
-0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 (窒素ガス換算における流量) 40~80L/min(nor)
図面、CADデータ、取扱説明書 リンク
S-TORRV 2300シリーズ
一次高圧用中流量用機種
入口側最高使用圧力 15MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.5MPa計付 1.0MPa
-0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 (窒素ガス換算における流量) 100~400L/min(nor)
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2次側高圧用
BA TORR-Hシリーズ
二次側高圧用機種
入口側最高使用圧力 0~25MPa計付 15.0MPa
0~35MPa計付 20.0MPa
出口側最高使用圧力 0~20MPa計付 12.0MPa
0~10MPa計付 6.0MPa
0~5MPa計付 3.0MPa
常用流量 (窒素ガス換算における流量) 330~800L/min(nor)
図面、CADデータ、取扱説明書 リンク
EP S-TORRV H50シリーズ
二次側高圧用機種
入口側最高使用圧力 15.0MPa
出口側最高使用圧力 3.0MPa
常用流量 (窒素ガス換算における流量) 20m3/h(nor)
図面、CADデータ、取扱説明書 リンク
腐食性ガス用
BA TORR-2800SHシリーズ
腐食性ガス大流量用機種
入口側最高使用圧力 15.0MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.5MPa計付 1.0MPa
-0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 (窒素ガス換算における流量) 220~1400L/min(nor)
図面、CADデータ、取扱説明書 リンク
EP S-TORR V2300SH/AHシリーズ
強腐食性ガス用機種
入口側最高使用圧力 0~25MPa計付 15MPa
-0~10MPa計付 6MPa
-0.1~1.5MPa計付 1.0MPa
出口側最高使用圧力 -0.1~1.5MPa計付 1.0MPa
-0.1~1.0MPa計付 0.6MPa
-0.1~0.6MPa計付 0.4MPa
-0.1~0.3MPa計付 0.2MPa
常用流量 (窒素ガス換算における流量)

50~120L/min(nor)
*CL2は10L/min(nor)、HCLは50L/min(nor)迄。

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