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半導体関連機器

フィルター

フィルター

半導体用材料ガスに最適。高精密、小型軽量。高圧用、低圧用を準備。

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特徴

・高性能50a.jpg
材質はSUS316L(TLFシリーズ)、SUS316(SHFシリーズ)を使用しています。
低圧ラインフィルター(TLFシリーズ)はエレメントにテフロンメンブランを使用しており、
孔径の均一化により表示除去粒径よりも小さなパーティクルを高効率で捕捉します。

・機密性
接続部は全部分溶接構造の採用により、
Heリーク量 1.3×10-10Pa・m3/sec以下を保証いたします。

・内面研磨
低圧ラインフィルター(TLFシリーズは標準で内面を研磨処理し、より高い清浄度でガス供給することが可能です。

・小型軽量
軽量コンパクトで配管スペースを小さくできます。

用途

半導体材料ガス、分析用ガスなど高純度、高清浄度保持の必要なガスラインに適しています。

仕様

・低圧ラインフィルター

品名 接続部
形状
材質 除去粒径       μm 常用最高流量 最高使用圧力   MPa
本体 エレメント 入口圧力0.1MPa 入口圧力0.3MPa
TLF-S4 1/4”SL SUS316L テフロンメンブラン 0.01 10L/min(nor) 25L/min(nor) 0.97
TLF-V4 1/4”VCR

・高圧ラインフィルター ※特殊仕様での製作も可能ですのでお問い合わせください。

品名 接続部
形状
材質 除去粒径       μm 常用最高流量 最高使用圧力   MPa
本体 エレメント 入口圧力0.1MPa 入口圧力0.3MPa
SHF-S4 1/4”SL SUS316 SUS316 2 20m3/h(nor) 40m3/h(nor) 15
SHF-V4 1/4”VCR

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