半導体関連機器

圧力計

圧力計
クリーンな環境用途に最適。
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特徴

クリーンな環境で厳重な品質管理のもとで製作すると共に全数Heリークテストを実施しております。
腐食性ガス用として、接ガス金属部に高耐食性合金のNi-Cr-Mo合金を使用した機種もあります。

仕様
材質 ケース SUS304
接ガス部（ブルドン管、株） SUS316L
その他 SUS304、A1070P
接続部形状 9/16-18UNF NPT1/4オス
外部リーク量（Heリーク）
Pa・m3/sec以下		 １．３×１０－１１ １．３×１０－９
接ガス金属部面粗さ 電解研磨処理なし
または
Ra 0.25μm		 電解研磨処理なし
精度 JIS1.6級相当（JIS　B7505）
使用温度 －5～40℃
オプション

・接ガス金属部材質：Ni-Cr-Mo合金
※接ガス金属部面粗さ　Ra 0.25μmのみでの対応となります。

高純度ガス用圧力計

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■特徴

クリーンな環境で組み立てを行っていますので半導体用高純度ガスには安心してご使用いただけます。
流体の触れる部分は耐食性に優れたSUS３１６Lを使用しており、腐食性流体にも安心してご使用いただけます。
豊富なバリエーションを設定して、お客様のニーズにお答えいたします。
厳重な品質管理のもとで製作すると共に全数Heリークテストを実施しております。

※詳しい仕様に関しましては、弊社支店・営業所にお問い合わせください

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