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半導体関連機器

圧力スイッチ

圧力スイッチ

半導体用材料ガスラインの圧力警報に最適。高精密、小型軽量。高圧用、低圧用を準備。軽量コンパクトで取り扱いが簡単。

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特徴

・材質はSUS316L、SUS316を使用しています。
・接続部は全部分溶接構造を採用し
Heリーク量 1.3×10-10Pa・m3/sec以下を保証いたします。
・軽量・コンパクトで取り扱いが簡単です。
・設定圧力を変えることができます。
・接ガス部の電解研磨処理品も製作いたします。

用途

半導体材料ガス、分析用ガスなど高純度、高清浄度、低リーク量保持の必要なガスラインの圧力警報、圧力制御用に適しています。

コードカラー
コードカラー 黒色 白色 赤色
モード C(共通端子) NO(ノーマルオープン) NC(ノーマルクローズ)
仕様
型式 設定圧力範囲 使用上限圧力
MPa
繰返精度
MPa
作動差
MPa
その他の仕様
上限 MPa 下限 MPa
TPS-E1 -0.076~+0.034 -0.096~+0.014 0.5 ±0.006 約0.02 1)電気容量 5A-125VAC
2)耐久限界 10万回
3)接続部形状
1/4”UJRメス、1/4”UJRオス、その他
4)周囲温度 -15~65℃但し60%RH
5)電解研磨品製作可
6)コード長 約300mm
TPS-E2 0.04~0.25 0.02~0.23 2 ±0.007 約0.02
TPS-E3 0.24~1.2 0.12~1.08 3 ±0.036 約0.12
TPS-E4 0.8~4 0.4~3.6 5 ±0.12 約0.4
TPS-E5 1~5 0.5~4.5 16.5 ±0.15 約0.5

※繰返精度:繰り返し作動させたときの設定値に対する作動値の誤差。
※使用上限圧力:これ以上の圧力を掛けた場合、正常に作動しなくなる上限の圧力。
(使用上限圧力以上の圧力を掛けると故障しますのでご注意ください)

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