S-LABOシリーズは純度保持性能に優れた標準ガス、高純度ガス用の調整器で、多くのガス種と広範な用途でご使用いただけるように調整器機種と流量計、パージバルブ、圧力計などの付属機器をラインナップしております。
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・高純度、標準、腐食性、各ガスに対応可能な機種を幅広く準備しました。
・外部リーク量低減と純度保持のためにSUS316Lメタルダイヤフラムを採用。
・純度保持のためにクリーンルームで生産。(Bs製を除く)
・流量計、パージバルブ、Heリークテスト可能。(各オプション)
| 分類 | 適合ガス種 | シリーズ名 | 本体材質 *1 |
カタログページ |
| 高圧 一段式 |
一般ガス、高純度ガス | B1-1 | Bs | 5 |
| 標準ガス、 高純度ガス |
S1-1 | SUS | 6 | |
| 標準ガス、 高純度ガス、 腐食性がス |
M1-1 | Ncu | 7 | |
| 高圧 二段式 |
一般ガス、高純度ガス | B2-1 | Bs | 8 |
| 標準ガス、 高純度ガス |
S2-1 | SUS | 9 | |
| 低圧 | 一般ガス、高純度ガス | BL-1 | Bs | 10 |
| 標準ガス、 高純度ガス |
SL-1 | SUS | 11 | |
| 標準ガス、 高純度ガス、 腐食性がス |
ML-1 | Ncu | 12 | |
| 高圧 小型 一段式 |
一般ガス、高純度ガス | B1-0 | Bs | 13 |
| 標準ガス、 高純度ガス |
S1-0 | SUS | 13 | |
| 低圧 小型 |
一般ガス、高純度ガス | BL-0 | Bs | 14 |
| 標準ガス、 高純度ガス |
SL-0 | SUS | 14 |
*1 BS=真鍮、SUS=ステンレス316L、Ncu=モネル