半導体

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詳細 特殊ガス供給設備工事

高純度ガスやシリンダーキャビネットが必要となる特殊ガスの設備をご希望に応じてコーディネート致します。安全管理までご提案により、お手伝いさせて頂きます。

詳細 高精度分析用ガス配管工事

コンタミネーションを嫌う、より高精度の分析にはローデットスペース、ハイクリーンな配管施工が必要です。 分析目的に最適な配管工事を実現します。

詳細 VOCフリー高清浄配管設備工事

VOC(揮発性有機化合物)濃度測定のための高清浄配管設備をご提供いたします。 VOCフリー調整器 ATRシリーズVOC洗浄対策した配管部品と施工技術で対応いたします。

詳細 半導体用圧力調整器

半導体、液晶、太陽電池等各種半導体用材料ガスの減圧に対応。高圧から微圧の減圧、また高純度、腐食性ガスまで幅広いラインアップ。

詳細 フィルター

半導体用材料ガスに最適。高精密、小型軽量。高圧用、低圧用を準備。

詳細 圧力スイッチ

半導体用材料ガスラインの圧力警報に最適。高精密、小型軽量。高圧用、低圧用を準備。軽量コンパクトで取り扱いが簡単。

詳細 圧力計

クリーンな環境用途に最適。

詳細 バキュームジェネレーター

窒素や空気を連続的に供給することにより真空を得るための機器。

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